HD500ເຕັກໂນໂລຊີການແກະສະຫຼັກ
ສະໜາມແມ່ເຫຼັກທີ່ອອກແບບພິເສດທີ່ອ້ອມຮອບລະບົບຕົວຢ່າງຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີ
ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ດີເລີດຂອງການແກະສະຫຼັກ
ການຫັກເຫທີ່ດີ
ຄວາມແຮງຂອງການແກະສະຫຼັກທີ່ສາມາດປັບໄດ້
ໂມດູນທີ່ຖືກແກະສະຫຼັກແມ່ນບໍ່ຕ້ອງມີການບຳລຸງຮັກສາ
ການຊຸບໄອອອນແບບອາກ (AIP)
ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນສູງ
ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນສູງ
ອະນຸພາກຈຸລະພາກຫຼາຍຊະນິດ
ພື້ນຜິວຫຍາບ
ແຄໂທດ G4 ປະສົມປະສານ
ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນສູງ
ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນສູງ
ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ມີອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ
ຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຕໍ່າ
ການສະເປຣດເຕີຣິງແມກເນຕຣອນ (MS)
ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ມີອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ
ຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຕໍ່າ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນຕໍ່າ
ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນຕ່ຳ
ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ PECVD
ການເຄືອບໄອເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ (PECVD) ແມ່ນຂະບວນການທີ່ເຄືອບໂລຫະປະສົມເພັດແຂງທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ ແລະ ລຽບນຽນຢ່າງຍິ່ງໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບຂະບວນການ PVD, ຂະບວນການ PECVD ໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານຊຸບເລິກ, ບໍ່ຕ້ອງການເປົ້າໝາຍແຄໂທດ, ແລະ ຊິ້ນວຽກບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງໝຸນໃນຫ້ອງເຕົາ. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນຂະບວນການເຄືອບທີ່ສະອາດ, ບໍ່ມີມົນລະພິດ, ໜ້າເຊື່ອຖື, ແລະ ມີຫຼາຍໜ້າທີ່.
● ຮາດແວທີ່ງ່າຍດາຍ, ບໍ່ຕ້ອງການແຫຼ່ງໄອອອນເພີ່ມເຕີມ
● ການອອກແບບສະໜາມແມ່ເຫຼັກປະສົມ, ເພີ່ມອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນ
● ຄວາມໄວໃນການວາງຊັ້ນສູງ > 1μm/ຊມ
● ອຸນຫະພູມການຕົກຕະກອນຕໍ່າ
● ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່
● ຜະລິດຕະພັນເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ, ບໍ່ຕ້ອງບຳລຸງຮັກສາ
ການຈຳລອງສະໜາມແມ່ເຫຼັກປິດທີ່ບໍ່ສົມດຸນ
ພລາສມາທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ
ຜະລິດຕະພັນເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ
PECVD (ສຳລັບ aC:H)
ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການສຳລັບຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ການຫລໍ່ລື່ນ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ແລະ ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງການຍຶດຕິດສູງຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆ, ການເຄືອບ DLC ໄດ້ຖືກອອກແບບໂຄງສ້າງໂດຍອີງໃສ່ແນວຄວາມຄິດຂອງໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນ, ການປ່ຽນແປງແບບ gradient, ແລະ ການປະສົມປະສານຂອງອິນເຕີເຟດ.
ໂຄງສ້າງການເຄືອບ DLC
ຄວາມໜາ 2-4μm (ຂຶ້ນກັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ)