ບົດບາດຂອງແຫຼ່ງໄອອອນໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ: ຈາກການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວຈົນເຖິງການປັບປຸງຟິມ

ເຂົ້າໃຈການນຳໃຊ້ຫຼັກຂອງແຫຼ່ງໄອອອນໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນ ຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ ເຊັ່ນວ່າ PVDແລະ PECVD, ແຫຼ່ງໄອອອນບາງຄັ້ງຖືກຖືວ່າເປັນອົງປະກອບທາງເລືອກ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ໃນການໃຊ້ງານເຄືອບປະສິດທິພາບສູງ, ພວກມັນມັກຈະເປັນປັດໄຈສຳຄັນໃນການກຳນົດຄຸນນະພາບການເຄືອບ.

ໃນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຄື່ອງມືຕັດ, ອົງປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແລະ ຊິ້ນສ່ວນເອເລັກໂຕຣນິກ, ເຕັກໂນໂລຊີແຫຼ່ງໄອອອນ—ຜ່ານ ການຕົກตะกอนດ້ວຍໄອອອນ (IAD)—ສາມາດປັບປຸງການຍຶດຕິດ, ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຊັ້ນເຄືອບໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນຈຶ່ງກາຍເປັນເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຳຄັນສຳລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຊັ້ນເຄືອບ.

ໃນວິທີແກ້ໄຂອຸປະກອນເຄືອບທີ່ພັດທະນາໂດຍ ເຕັກໂນໂລຊີນາໂນ ຮົວເຊິງ, ເຕັກໂນໂລຊີແຫຼ່ງໄອອອນມັກຈະຖືກລວມເຂົ້າກັບ ລະບົບ PVD, DLC, ແລະ PECVD, ສະໜອງການຄວບຄຸມລຳແສງໄອອອນທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ສ້າງພື້ນຖານການເຄືອບທີ່ໜ້າເຊື່ອຖືຫຼາຍຂຶ້ນສຳລັບວັດສະດຸທີ່ແຕກຕ່າງກັນ ແລະ ອົງປະກອບທີ່ສັບສົນ.

1. ຫຼັກການເຮັດວຽກພື້ນຖານຂອງແຫຼ່ງໄອອອນ

ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງແຫຼ່ງໄອອອນແມ່ນເພື່ອ ສ້າງ ແລະ ເລັ່ງລຳແສງໄອອອນພະລັງງານສູງ.

ພາຍໃນຫ້ອງໄອອອນໄນເຊຊັນ, ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ (ໂດຍປົກກະຕິ ອາກອນ) ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຖືກໄອອອນປະສົມເພື່ອສ້າງອະນຸພາກທີ່ມີປະຈຸ. ຫຼັງຈາກນັ້ນໄອອອນເຫຼົ່ານີ້ຈະຖືກເລັ່ງໂດຍສະໜາມໄຟຟ້າ ແລະ ມຸ້ງໄປຫາໜ້າຜິວເປົ້າໝາຍ ຫຼື ຊິ້ນວຽກ, ເຂົ້າຮ່ວມໃນຂະບວນການເຄືອບ.

ຂະບວນການດັ່ງກ່າວສາມາດງ່າຍດາຍໄດ້ດັ່ງນີ້:

ອາຍແກັສ → ໄອອອນໄນເຊຊັນ → ລຳແສງໄອອອນ → ການເລັ່ງ → ການລະເບີດພື້ນຜິວ

ເທ ພະລັງງານ, ທິດທາງ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງລຳແສງໄອອອນສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ທັງໝົດ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມຂະບວນການເຄືອບໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນ.

ໃນອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ທັນສະໄໝ, ແຫຼ່ງໄອອອນບໍ່ພຽງແຕ່ຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນເທົ່ານັ້ນແຕ່ຍັງມີບົດບາດໃນ ຂັ້ນຕອນກ່ອນການປິ່ນປົວ, ການເຄືອບ, ແລະ ຫຼັງການປິ່ນປົວ.

2. ສາມການນຳໃຊ້ຫຼັກຂອງແຫຼ່ງໄອອອນໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ

• ກ່ອນການເຄືອບ: ການເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວ ແລະ ການກະຕຸ້ນ

ຄຸນນະພາບຂອງການເຄືອບແມ່ນຂຶ້ນກັບສະພາບຂອງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ.

ຖ້າພື້ນຜິວມີຊັ້ນອົກຊິເດຊັນ, ການປົນເປື້ອນນ້ຳມັນ, ຫຼື ອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ, ການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບອາດຈະຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ແຫຼ່ງໄອອອນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປສໍາລັບ ການເຮັດຄວາມສະອາດໄອອອນກ່ອນການວາງສົບ.

ໄອອອນພະລັງງານສູງຈະຍິງໃສ່ໜ້າຜິວຂອງຊິ້ນວຽກເພື່ອ:

ກຳຈັດຊັ້ນອົກໄຊ ແລະ ສິ່ງປົນເປື້ອນ

ກຳຈັດອະນຸພາກຈຸລະທັດ

ກະຕຸ້ນພະລັງງານພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸ

ໃນເວລາດຽວກັນ, ການຖິ້ມລະເບີດໄອອອນສ້າງ ພື້ນຜິວທີ່ຫຍາບຄາຍດ້ວຍກ້ອງຈຸลະທັດ, ສະໜອງສະຖານທີ່ຍຶດຕິດຫຼາຍຂຶ້ນສຳລັບຟິມທີ່ວາງໄວ້.

“ໂຄງສ້າງການຍຶດຕິດຂະໜາດນ້ອຍ” ນີ້ຊ່ວຍປັບປຸງການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ຊ່ວຍປ້ອງກັນການລອກອອກ ຫຼື ການແຍກຊັ້ນຂອງຊັ້ນເຄືອບ.

ຂັ້ນຕອນນີ້ມີຄວາມສຳຄັນເປັນພິເສດໃນ ການເຄືອບເຄື່ອງມືຕັດ.

• ໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ: ການຕົກຕະກອນດ້ວຍໄອອອນ (ໜ້າທີ່ຫຼັກ)

ບົດບາດທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດຂອງແຫຼ່ງໄອອອນເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນຂອງການຕົກຕະກອນ.

ໃນຂະນະທີ່ອະຕອມເຄືອບກຳລັງຖືກວາງໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ລຳແສງໄອອອນຈະຍິງໃສ່ຟິມທີ່ເຕີບໃຫຍ່ພ້ອມໆກັນ, ສ້າງ ຂະບວນການວາງທາດດ້ວຍໄອອອນຊ່ວຍເຫຼືອ.

ຂະບວນການນີ້ນຳຜົນປະໂຫຍດຫຼາຍຢ່າງມາໃຫ້.

ການປັບປຸງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ

ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍໄອອອນຊ່ວຍສົ່ງເສີມການຈັດລຽງປະລໍາມະນູຄືນໃໝ່ພາຍໃນຊັ້ນເຄືອບທີ່ເຕີບໃຫຍ່, ເຮັດໃຫ້ໂຄງສ້າງຟິມມີຂະໜາດກະທັດຮັດຫຼາຍຂຶ້ນ.

ຜົນໄດ້ຮັບປະກອບມີ:

ຫຼຸດຜ່ອນຮູເຂັມ

ມີຄວາມพรຸນຕ່ຳກວ່າ

ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ

ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີຂຶ້ນ

ການປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບ

ສຳລັບຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ວິທີການວາງຊັ້ນແບບດັ້ງເດີມສາມາດຜະລິດໄດ້ ຜົນກະທົບຂອງເງົາ, ເຮັດໃຫ້ບາງພື້ນທີ່ຖືກເຄືອບໜ້ອຍ.

ລຳແສງໄອອອນສາມາດຖືກມຸ້ງໄປຊົດເຊີຍພື້ນທີ່ເຫຼົ່ານີ້, ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຊັ້ນເຄືອບ.

ສິ່ງນີ້ມີຄວາມສຳຄັນເປັນພິເສດສຳລັບ:

ຂອບເຄື່ອງມືຕັດ

ອົງປະກອບຄວາມແມ່ນຍໍາ

ໂຄງສ້າງສາມມິຕິ

ໂຄງສ້າງຈຸລະພາກຂອງຟິມຄວບຄຸມ

ໂດຍການປັບພະລັງງານລຳແສງໄອອອນ, ໂຄງສ້າງຜລຶກ ແລະ ຮູບແບບການເຕີບໂຕຂອງການເຄືອບສາມາດດັດແປງໄດ້.

ຕົວຢ່າງ:

ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຂອງຊັ້ນເຄືອບແຂງ

ເສີມຂະຫຍາຍຮູບລັກສະນະ ແລະ ຄວາມສະຫວ່າງຂອງຊັ້ນເຄືອບຕົກແຕ່ງ

ການປັບປຸງຄວາມໂປ່ງໃສ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ໜາກວ່າ

ຄວາມສາມາດນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍໃນແອັບພລິເຄຊັນທີ່ຕ້ອງການ ຄວາມແຂງສູງ ແລະ ການເຄືອບທີ່ໝັ້ນຄົງ.

• ຫຼັງຈາກການເຄືອບ: ການດັດແປງຟິມ

ໃນຂະບວນການເຄືອບຂັ້ນສູງບາງຢ່າງ, ແຫຼ່ງໄອອອນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບ ຫຼັງການປິ່ນປົວຂອງການເຄືອບ.

ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍໄອອອນຂອງຟິມທີ່ວາງໄວ້ສາມາດ:

ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນພາຍໃນຊັ້ນເຄືອບ

ປັບປຸງຄວາມແຂງແຮງຂອງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຊັ້ນເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນ

ປັບປຸງຄວາມລຽບນຽນຂອງພື້ນຜິວ

ຫຼຸດຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານລົງ

ການປິ່ນປົວນີ້ມັກຖືກນໍາໃຊ້ໃນ ການເຄືອບ DLC (ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ)ແລະຮູບເງົາທີ່ມີປະໂຫຍດອື່ນໆ.

3. ການນຳໃຊ້ແຫຼ່ງໄອອອນໃນຂະບວນການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນ

ແຫຼ່ງໄອອອນສາມາດລວມເຂົ້າກັບເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບຕ່າງໆ, ໂດຍມີໜ້າທີ່ທີ່ແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຂະບວນການ.

• ການສະເປເຕີຣິງ PVD Magnetron

ໃນການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ແຫຼ່ງໄອອອນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຊ່ວຍໃຫ້:

ປັບປຸງການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບ

ເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຊັ້ນເຄືອບ

ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສີໃນຟິມຕົກແຕ່ງ

ແອັບພລິເຄຊັນທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ການເຄືອບເຄື່ອງມືຕັດ

ຕູ້ໂທລະສັບມືຖື

ການເຄືອບຕົກແຕ່ງ

• ການເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດ

ການເຄືອບລະເຫີຍໃຫ້ອັດຕາການຕົກຕະກອນສູງແຕ່ມັກຈະຜະລິດຟິມທີ່ມີຮູພຸນ.

ແຫຼ່ງໄອອອນຊ່ວຍເອົາຊະນະຂໍ້ຈຳກັດເຫຼົ່ານີ້ໂດຍ:

ການເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຊັ້ນເຄືອບ

ການປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຟິມ

ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບທາງດ້ານ optical

ແອັບພລິເຄຊັນທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ເລນສາຍຕາ

ຕົວກອງ

ການເຄືອບສະທ້ອນແສງ

• ຂະບວນການ PECVD

ໃນຂະບວນການ PECVD, ແຫຼ່ງໄອອອນສາມາດຊ່ວຍໃນການໄອອອນອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບຫຼາຍຂຶ້ນ.

ພາລະບົດບາດຫຼັກຂອງເຂົາເຈົ້າລວມມີ:

ອັດຕາການວາງໄຂ່ເພີ່ມຂຶ້ນ

ການປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບ

ເພີ່ມຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຟິມ

ແອັບພລິເຄຊັນທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ຟິມກັນຄວາມຮ້ອນ

ການເຄືອບທີ່ໃຊ້ງານໄດ້

ຟິມບາງທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບເຊມິຄອນດັກເຕີ

4. ປັດໄຈຫຼັກໃນການເລືອກແຫຼ່ງໄອອອນ

ການໃຊ້ງານເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຕັ້ງຄ່າແຫຼ່ງໄອອອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ພາລາມິເຕີຫຼັກທີ່ຄວນພິຈາລະນາລວມມີ:

• ລະດັບພະລັງງານລຳແສງໄອອອນ

ກຳນົດຄວາມສາມາດໃນການຖິ້ມລະເບີດ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມໂຄງສ້າງການເຄືອບ.

• ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງລຳແສງໄອອອນ

ລຳແສງໄອອອນທີ່ໝັ້ນຄົງຮັບປະກັນຂະບວນການເຄືອບທີ່ສອດຄ່ອງ ແລະ ຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນ.

• ຕະຫຼອດຊີວິດແຫຼ່ງໄອອອນ

ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ປັບປຸງການນຳໃຊ້ອຸປະກອນ.

• ຄວາມກວ້າງຂອງລຳແສງໄອອອນ

ແຫຼ່ງໄອອອນແບບລຳແສງກວ້າງແມ່ນເໝາະສົມກວ່າສຳລັບຊິ້ນວຽກທີ່ມີພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່ ຫຼື ການຜະລິດເປັນກຸ່ມ.

ໃນທາງປະຕິບັດ, ການຄັດເລືອກຄວນພິຈາລະນາ ວັດສະດຸເຄືອບ, ປະເພດການເຄືອບ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການໃນການນຳໃຊ້.

5. ເຕັກໂນໂລຊີນາໂນ ຮົວເຊິງ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບດ້ວຍໄອອອນຊ່ວຍ

ໃນການນຳໃຊ້ການເຄືອບອຸດສາຫະກຳ, ເຕັກໂນໂລຊີແຫຼ່ງໄອອອນໄດ້ກາຍເປັນສ່ວນໜຶ່ງທີ່ສຳຄັນຂອງລະບົບການເຄືອບປະສິດທິພາບສູງ.

ໃນການພັດທະນາຂອງ PVD, DLC, ແລະ ອຸປະກອນເຄືອບ PECVD, ເຕັກໂນໂລຊີນາໂນ ຮົວເຊິງນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີທີ່ຊ່ວຍດ້ວຍໄອອອນເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການເຄືອບ, ເຊັ່ນ:

ປັບປຸງການຍຶດຕິດ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ຂອງຊັ້ນເຄືອບເຄື່ອງມືຕັດ

ການເພີ່ມຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຊັ້ນເຄືອບໃນອົງປະກອບທີ່ສັບສົນ

ເພີ່ມຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການເຄືອບທີ່ໃຊ້ງານໄດ້

ຜ່ານການປະສົມປະສານຂອງ ການອອກແບບອຸປະກອນ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ, ເຕັກໂນໂລຊີແຫຼ່ງໄອອອນສາມາດສົ່ງມອບປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງໃນການໃຊ້ງານເຄືອບຕ່າງໆ.

ສະຫຼຸບ

ຄຸນຄ່າຫຼັກຂອງແຫຼ່ງໄອອອນແມ່ນຢູ່ໃນຄວາມສາມາດຂອງມັນໃນການ ເສີມຂະຫຍາຍຂະບວນການເຄືອບແບບດັ້ງເດີມຜ່ານການວາງຊັ້ນດ້ວຍໄອອອນ.

ຈາກການທຳຄວາມສະອາດພື້ນຜິວກ່ອນການເຄືອບ, ຈົນເຖິງການເສີມສ້າງການເຕີບໂຕຂອງຟິມໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນ, ແລະແມ່ນແຕ່ການດັດແປງຄຸນສົມບັດຂອງຟິມຫຼັງຈາກການເຄືອບ, ແຫຼ່ງໄອອອນມີບົດບາດຕະຫຼອດຂະບວນການເຄືອບທັງໝົດ.

ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳການຜະລິດຕ້ອງການປະສິດທິພາບການເຄືອບທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແຫຼ່ງໄອອອນກຳລັງກາຍເປັນເທັກໂນໂລຢີທີ່ສຳຄັນເພີ່ມຂຶ້ນໃນອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ທັນສະໄໝ.