HPC —— ເຄື່ອງເຄືອບພື້ນຜິວພາຍໃນ
-
PECVD ດ້ວຍເທັກໂນໂລຢີການປ່ອຍແຄໂທດເປັນຮູ -
ຄວາມໜາ 2-30um -
ຄວາມແຂງ 5-25GPa -
ອັດຕາສ່ວນສູງລະຫວ່າງຄວາມຍາວ ແລະ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນ (ສູງສຸດ 20:1)

-
ການເຄືອບດ້ວຍຄາບອນ. ແນວໂນ້ມການຍຶດຕິດຕໍ່າ, ມີຄຸນສົມບັດຕ້ານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ. -
ຄວາມແຂງສູງ, ປະລິມານການສວມໃສ່ຕໍ່າ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງການຕັດສູງຂອງໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນ. -
ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ເພີ່ມຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ, ຫຼີກລ່ຽງການປ່ຽນແປງໂຄງສ້າງທໍ່ ແລະ ສະພາບການໄຫຼຂອງນ້ຳໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

ພື້ນທີ່ການນຳໃຊ້


ເທັກໂນໂລຢີຂັ້ນສູງ
PECVD ດ້ວຍເທັກໂນໂລຢີການປ່ອຍແຄໂທດເປັນຮູ


ຂະໜາດທໍ່ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ
ອັດຕາສ່ວນສູງລະຫວ່າງຄວາມຍາວ ແລະ ເສັ້ນຜ່າສູນກາງພາຍໃນ (ສູງເຖິງ 20:1) ແລະ ຄວາມຍາວຂອງທໍ່ຍາວ (ສູງເຖິງ 3 ແມັດ)


ຄວາມສາມາດໃນການປັບແຕ່ງປະສິດທິພາບຫຼາຍລະດັບ
ງ່າຍຕໍ່ການປັບຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບ / ຄວາມແຂງ / ອົງປະກອບທີ່ເສີມດ້ວຍສານເສີມ, ແລະອື່ນໆ.


ອຸປະກອນອັດຕະໂນມັດ
ຊອບແວງ່າຍຕໍ່ການໃຊ້ງານ ແລະ ງ່າຍຕໍ່ການປັບຕົວກໍານົດການຂອງຂະບວນການ
ລັກສະນະການປະຕິບັດຂອງການຊຸບ DLC ໃນທໍ່

ທໍ່ດ້ານໃນມີຂະໜາດ Ø 50 ມມ × 50 ມມ

ທໍ່ດ້ານໃນມີຂະໜາດ Ø 100 ມມ × 250 ມມ

ທໍ່ດ້ານໃນມີຂະໜາດ Ø 25 ມມ × 200 ມມ

ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ Ra ແມ່ນ 0.1 ຫາ 0.2 μm

ຄວາມແຂງ: 5-10 gpa

ການຍຶດຕິດທີ່ດີ (≤HF2)

ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນໃນແມ່ນ 2 ຫາ 30 μm


HD500