ຊຸດ DLC —— ເຄື່ອງເຄືອບ DLC

ເຄື່ອງເຄືອບ DLC ທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ ແລະ ຕ້ານການສຽດທານ

ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຊຸດ DLC, ເຊິ່ງພັດທະນາໂດຍ Huasheng ຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະ, ປະສົມປະສານແຫຼ່ງໄອອອນ, ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ (MS), ແລະເຕັກໂນໂລຊີ PECVD ເພື່ອຕົກຕະກອນເຄືອບຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ (DLC) ຢ່າງໄວວາ. ເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ມີຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດເຊັ່ນ: ຄວາມແຂງສູງ, ຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່, ແຮງສຽດທານຕໍ່າ, ຕ້ານການກັດກ່ອນ, ແລະ ຕ້ານການຕິດ.

ລະບົບນີ້ມີການອອກແບບຮາດແວທີ່ງ່າຍດາຍໂດຍບໍ່ຕ້ອງໃຊ້ແຫຼ່ງໄອອອນໄນເຊຊັນເພີ່ມເຕີມ. ການອອກແບບສະໜາມແມ່ເຫຼັກປະສົມຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການໄອອອນໄນເຊຊັນ, ຮັບປະກັນໂຄງສ້າງຟິມທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບ. ຄວາມໄວໃນການວາງສານເກີນ 1μm/h, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງຜົນຜະລິດໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຊຸດ DLC ເຮັດວຽກຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມຕໍ່າ (

ໜ້າທີ່ເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍພລາສມາແບບປະສົມປະສານຊ່ວຍລົບລ້າງຄວາມຕ້ອງການການບຳລຸງຮັກສາພາຍນອກ, ເຮັດໃຫ້ລະບົບໃຊ້ງ່າຍ ແລະ ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນ. ມັນຍັງຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການທີ່ສະອາດ ແລະ ປະສິດທິພາບການເຄືອບທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີ.