ສູນບໍລິການເຄືອບ
ວິທີແກ້ໄຂອຸປະກອນເຄືອບແບບຄົບວົງຈອນຂອງ Huasheng ສາມາດປະສົມປະສານເຂົ້າໃນຂະບວນການຜະລິດເຄື່ອງມື ແລະ ການບົດຂອງທ່ານໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປະຢັດເວລາຂອງທ່ານໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໂດຍບໍ່ຕ້ອງກັງວົນ!
ການເຄືອບ PVD
ການເຄືອບແຂງ PVD ແມ່ນຟິມປ້ອງກັນທີ່ບາງຫຼາຍ (ສອງສາມໄມໂຄຣແມັດ) ເຊິ່ງສາມາດປັບປຸງຄຸນສົມບັດພື້ນຜິວຕໍ່ໄປນີ້ຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານ:
ຄວາມແຂງ
ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ
ຄ່າສຳປະສິດຂອງແຮງສຽດທານ
ຄວາມແຂງກະດ້າງ
ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງເຄມີ
ສະຖານະການນຳໃຊ້ອື່ນໆ
ການໃຊ້ເຄືອບສອງສາມໄມຄຣອນໃສ່ເຄື່ອງມືຕັດສາມາດເພີ່ມຄວາມໄວໃນການຕັດ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານ.
ຄຸນສົມບັດການເຄືອບ
ການເຄືອບມີການຍຶດຕິດທີ່ດີ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ມີອະນຸພາກນ້ອຍໆ, ມີສະຖາປັດຕະຍະກຳທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງການເຄືອບສີ/ຫຼາຍຊັ້ນ/ຊຸບເປີແລດຕິຊ/ນາໂນຄອມໂພສິດ.

ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບ: ສາມາດບາງ ຫຼື ໜາໄດ້, ມີຄວາມລຽບສະເໝີ (ບາງເຖິງ 0.5μ, ໜາເຖິງ 30μ)

ການຍຶດຕິດທີ່ດີເລີດລະຫວ່າງຟິມແລະຊັ້ນຮອງພື້ນ
ການເຄືອບ DLC
DLC (ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ) ເປັນຊັ້ນເຄືອບຄາບອນທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງຄ້າຍຄືເພັດ ເຊິ່ງມີພັນທະ sp2 ແລະ sp3 ຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍ. ປະລິມານພັນທະ sp3 ທີ່ສູງສາມາດນຳເອົາຄວາມແຂງຂອງຊັ້ນເຄືອບສູງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງສູງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງສູງ, ຄວາມກົດດັນຕົກຄ້າງຕ່ຳ ແລະ ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ.
ຄຸນສົມບັດ ແລະ ການນຳໃຊ້:
ພື້ນຜິວເຄືອບລຽບ
ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ
ຄວາມແຂງກະດ້າງກົນຈັກສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ໄດ້ດີ
ສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕ່ຳລະຫວ່າງເຄື່ອງມື ແລະ ຊິ້ນວຽກ, ຫຼຸດຜ່ອນແຮງສຽດທານ
ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນໄດ້ດີ
ເໝາະສຳລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ທາງຊີວະພາບ
ແຜນວາດໄລຍະສາມສ່ວນຂອງ DLC
ຂະບວນການທີ 1
ຂະບວນການທີ 2
ຂະບວນການທີ 3
ຂະບວນການທີ 4
ຂະບວນການທີ 5
ຂະບວນການທີ 6
ຂະບວນການທີ 7
ເຕັກໂນໂລຊີການແກະສະຫຼັກ
ສະໜາມແມ່ເຫຼັກທີ່ອອກແບບພິເສດທີ່ອ້ອມຮອບລະບົບຕົວຢ່າງຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີ
ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ດີເລີດຂອງການແກະສະຫຼັກ
ການຫັກເຫທີ່ດີ
ຄວາມແຮງຂອງການແກະສະຫຼັກທີ່ສາມາດປັບໄດ້
ໂມດູນທີ່ຖືກແກະສະຫຼັກແມ່ນບໍ່ຕ້ອງມີການບຳລຸງຮັກສາ

ການຊຸບໄອອອນແບບອາກ (AIP)
ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນສູງ
ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນສູງ
ອະນຸພາກຈຸລະພາກຫຼາຍຊະນິດ
ພື້ນຜິວຫຍາບ

ແຄໂທດ G4 ປະສົມປະສານ
ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນສູງ
ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນສູງ
ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ມີອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ
ຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຕໍ່າ

ການສະເປຣດເຕີຣິງແມກເນຕຣອນ (MS)
ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ມີອະນຸພາກຂະໜາດນ້ອຍ
ຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຕໍ່າ
ອັດຕາການຕົກຕະກອນຕໍ່າ
ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນຕ່ຳ
ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ PECVD
ການເຄືອບໄອເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ (PECVD) ແມ່ນຂະບວນການທີ່ເຄືອບໂລຫະປະສົມເພັດແຂງທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ ແລະ ລຽບນຽນຢ່າງຍິ່ງໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບຂະບວນການ PVD, ຂະບວນການ PECVD ໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານຊຸບເລິກ, ບໍ່ຕ້ອງການເປົ້າໝາຍແຄໂທດ, ແລະ ຊິ້ນວຽກບໍ່ຈຳເປັນຕ້ອງໝຸນໃນຫ້ອງເຕົາ. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນຂະບວນການເຄືອບທີ່ສະອາດ, ບໍ່ມີມົນລະພິດ, ໜ້າເຊື່ອຖື, ແລະ ມີຫຼາຍໜ້າທີ່.
● ຮາດແວທີ່ງ່າຍດາຍ, ບໍ່ຕ້ອງການແຫຼ່ງໄອອອນເພີ່ມເຕີມ
● ການອອກແບບສະໜາມແມ່ເຫຼັກປະສົມ, ເພີ່ມອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນ
● ຄວາມໄວໃນການວາງຊັ້ນສູງ > 1μm/ຊມ
● ອຸນຫະພູມການຕົກຕະກອນຕໍ່າ
● ພື້ນຜິວລຽບ, ບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່
● ຜະລິດຕະພັນເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ, ບໍ່ຕ້ອງບຳລຸງຮັກສາ

ການຈຳລອງສະໜາມແມ່ເຫຼັກປິດທີ່ບໍ່ສົມດຸນ

ພລາສມາທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ

ຜະລິດຕະພັນເຮັດຄວາມສະອາດພລາສມາ
PECVD (ສຳລັບ aC:H)
ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການສຳລັບຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ການຫລໍ່ລື່ນ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ແລະ ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງການຍຶດຕິດສູງຂອງຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆ, ການເຄືອບ DLC ໄດ້ຖືກອອກແບບໂຄງສ້າງໂດຍອີງໃສ່ແນວຄວາມຄິດຂອງໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນ, ການປ່ຽນແປງແບບ gradient, ແລະ ການປະສົມປະສານຂອງອິນເຕີເຟດ.

ໂຄງສ້າງການເຄືອບ DLC

ຄວາມໜາ 2-4μm (ຂຶ້ນກັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ)
ຂໍ້ໄດ້ປຽບ
ວິທີແກ້ໄຂອຸປະກອນເຄືອບແບບຄົບວົງຈອນຂອງ Huasheng ສາມາດປະສົມປະສານເຂົ້າໃນຂະບວນການຜະລິດເຄື່ອງມື ແລະ ການບົດຂອງທ່ານໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປະຢັດເວລາຂອງທ່ານໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໂດຍບໍ່ຕ້ອງກັງວົນ!
ເອກະລາດ
ພວກເຮົາມີລະບົບອຸປະກອນເຄືອບແບບຄົບວົງຈອນຂອງຕົນເອງ, ເປັນອິດສະຫຼະຈາກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເຄືອບ.
ຄວບຄຸມຂະບວນການຜະລິດທັງໝົດຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະ.
ເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບເອກະລາດສາມາດຮັກສາພາຍໃນໄດ້ຢ່າງສົມບູນ, ເຮັດໃຫ້ທ່ານມີຄວາມສະຫງົບສຸກທາງໃຈຫຼາຍຂຶ້ນ!
ການປັບແຕ່ງສ່ວນບຸກຄົນ
ອຸປະກອນຂອງ Huasheng ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້.
ເທັກໂນໂລຢີແຫຼ່ງເປີດຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານສາມາດພັດທະນາການເຄືອບຂອງທ່ານເອງ, ຄວບຄຸມຂະບວນການພັດທະນາທັງໝົດໄດ້ຢ່າງເປັນອິດສະຫຼະ.
ສຳລັບຄວາມຕ້ອງການສູງຂອງທ່ານສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີ ແລະ ນະວັດຕະກຳໃໝ່ໃນການເຄືອບ PVD, ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທີ່ເຂັ້ມແຂງ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການແຂ່ງຂັນ!
ຂະບວນການເຄືອບທັງໝົດສາມາດເຮັດສຳເລັດໃນມື້ດຽວກັນໄດ້.
ພາຍໃນຮັບປະກັນເສັ້ນທາງຂະບວນການຜະລິດທີ່ສັ້ນທີ່ສຸດ ແລະ ຫຼີກລ່ຽງຄວາມເສຍຫາຍໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງ ຫຼື ການຫຸ້ມຫໍ່.
ການຜະລິດມີປະສິດທິພາບ ແລະ ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ, ປະຫຍັດເວລາ ແລະ ຄວາມພະຍາຍາມ!
ການຈັດສົ່ງໄວ
ສູນເຄືອບປະສົມເຄື່ອງມືທີ່ແຕກຕ່າງກັນສໍາລັບການເຄືອບ, ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການໄຫຼວຽນຂອງຂະບວນການທົ່ວໄປ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວາມໜາຂອງເຄືອບແລະຄຸນນະພາບສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ໂດຍສະເພາະ, Huasheng ມີຫຼາກຫຼາຍປະເພດການເຄືອບທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ, ເໝາະສົມກັບຮູບຮ່າງເຄື່ອງມື/ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆ ແລະ ອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆ.
ອຸດສາຫະກຳທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງການນຳໃຊ້
ແຈ້ງການກ່ອນການເຄືອບ
ຂະບວນການເຄືອບ Huasheng ຕ້ອງການອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ, ເຄື່ອງມືກໍ່ຖືກເຄືອບຄືກັນ. ກະລຸນາກວດສອບແຈ້ງການຕໍ່ໄປນີ້ເພື່ອຕອບສະໜອງປະສິດທິພາບການເຄືອບ PVD ຂອງພວກເຮົາ:
✔ ຊິ້ນສ່ວນວຽກສາມາດເຄືອບໄດ້
ເພື່ອໃຫ້ຂະບວນການທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບເຄື່ອງມື Huasheng ຕ້ອງການຂໍ້ມູນພື້ນຖານບາງຢ່າງກ່ຽວກັບເຄື່ອງມືເຄືອບເຊັ່ນ: ວັດສະດຸພື້ນຖານ, ຄວາມແຂງ ແລະ ອຸນຫະພູມ. ນີ້ແມ່ນວັດສະດຸທີ່ສາມາດເຄືອບໄດ້:
1. ເຫຼັກກ້າ, HSS ແລະ ເຫຼັກສະແຕນເລດ
2. ຊີມັງຄາໄບ
3. ໂລຫະປະສົມໄທທານຽມ
4. ໂລຫະປະສົມນິກເກີນ
ສຳລັບເຫຼັກກ້າສະກັດ ມັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງສອງເທື່ອ ຫຼື ຫຼາຍກວ່ານັ້ນໃນອຸນຫະພູມ 500 ອົງສາເຊນຊຽດ ແລະ ຮັກສາຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມນຳໄຟຟ້າໄວ້. ເພາະວ່າເຄື່ອງມືທັງໝົດຈະຖືກເຄືອບພາຍໃນຫ້ອງໃນຂະບວນການ PVD ສະນັ້ນ ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າເຄື່ອງມືທັງໝົດສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການເຫຼົ່ານີ້ໄດ້.
✔ ພື້ນທີ່ເຄືອບ
ກະລຸນາຮັບຊາບວ່າພື້ນທີ່ເຄືອບຂອງເຄື່ອງມືມີພື້ນທີ່ສຳລັບໜີບ, ມັນຈະບໍ່ປົກຄຸມເຄື່ອງມືທັງໝົດໄດ້ເຕັມທີ່. ຖ້າມີບ່ອນໃດບ່ອນໜຶ່ງທີ່ບໍ່ຄວນເຄືອບ, ກະລຸນາແຈ້ງໃຫ້ພວກເຮົາຊາບລ່ວງໜ້າ.
✔ ຂະໜາດເຄືອບທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດ
ການເຄືອບ Huasheng ມີພື້ນທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດບໍ່ເກີນ φ900*1000mm
✔ ຂໍ້ຈຳກັດເທິງໜ້າດິນຂອງເຄື່ອງມື
1. ເຄື່ອງມືສຳລັບການເຄືອບບໍ່ສາມາດເປັນ: ການເຄືອບດ້ວຍໄຟຟ້າ, ການເຄືອບໄນໄຕຣດ, ການເຄືອບຄາບູໄຣສ໌, ການເຄືອບປາກຣີໄຊເຄິນ, ການເຄືອບອົກຊີເດຊັນ, TD, CVD ຫຼື ການປຸງແຕ່ງພື້ນຜິວອື່ນໆ
2. ບໍ່ຄວນມີສະໜິມ, ການກັດກ່ອນ, ສີນ້ຳມັນ, ກາວຢູ່ເທິງໜ້າເຄື່ອງມື
3. ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ: ດ້ວຍຄວາມຕ້ອງການໃນການນຳໃຊ້, ພື້ນຜິວຂອງຊິ້ນວຽກຄວນຈະລຽບເທົ່າກັນ, ພື້ນຜິວ Ra
4. ເຄື່ອງມືປະກອບແມ່ພິມ ຫຼື ເຄື່ອງມືໂມເຊອິກຕ້ອງຖືກຖອດອອກ
5. ໜ້າຜິວຂອງເຄື່ອງເຊື່ອມຄວນສະອາດໝົດໂດຍບໍ່ມີຊັ້ນອົກຊິເດຊັນ ຫຼື ຮູຢູ່ດ້ານເທິງ
✔ສິ່ງທີ່ລູກຄ້າຄວນສະໜອງ
1. ວັດສະດຸ ແລະ ລະຫັດຂອງເຄື່ອງມືເຄືອບ
2. ຄວາມຮ້ອນຂອງທີມ ແລະ ຄວາມແຂງ
3. ໃຫ້ສັງເກດພື້ນຜິວທີ່ຕ້ອງການເຄືອບ
4. ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິທີ່ນ້ອຍກວ່າເຄື່ອງມື 5μm ຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ
5. ຂໍ້ມູນການຕັດ ແລະ ຊິ້ນວຽກສຳລັບພວກເຮົາເພື່ອໃຫ້ການເຄືອບທີ່ສົມບູນແບບ
✔ ການຫຸ້ມຫໍ່ ແລະ ການຂົນສົ່ງ
1. ຊິ້ນສ່ວນເຫຼັກກ້າ HSS ແລະ ເຫຼັກເຄື່ອງມືຄວນໄດ້ຮັບການຫລໍ່ລື່ນກ່ອນການໂອນຍ້າຍ
2. ເຄື່ອງມືຄວນໄດ້ຮັບການຫຸ້ມຫໍ່ແຍກຕ່າງຫາກ
3. ຫຼັງຈາກເຄືອບ HSS ແລະເຫຼັກເຄື່ອງມືແລ້ວ ພວກເຮົາຈະທານ້ຳມັນໃສ່ໜ້າຜິວ (ຍົກເວັ້ນຄວາມຕ້ອງການພິເສດ)
✔ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິ
1. ການເຄືອບ PVD ຂອງ Husheng ມີຂະໜາດຕັ້ງແຕ່ 0.5μm ຫາ 30μm, ໂດຍມີການຄວບຄຸມຂະບວນການຢ່າງແນ່ນອນ
2. ຖ້າທ່ານມີຄວາມຕ້ອງການສູງກ່ຽວກັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິຂອງຜະລິດຕະພັນ ກະລຸນາອອກຈາກພື້ນທີ່ ແລະ ປະກາດພວກເຮົາລ່ວງໜ້າ
✔ ຂີດຈຳກັດການເຄືອບ PVD
ການເຄືອບ PVD ສາມາດປົກຄຸມພື້ນຜິວທີ່ສັບສົນໄດ້, ແຕ່ສາມາດເຄືອບຮູທີ່ມີອັດຕາສ່ວນຄວາມເລິກຂອງຂຸມບໍ່ນ້ອຍກວ່າ 1:1 ແລະ ມີຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ບາງລົງຕາມຄວາມເລິກ.
✔ ການເຄືອບສີຄືນໃໝ່
Huasheng ໃຫ້ບໍລິການຕົກແຕ່ງສຳລັບລູກຄ້າ (ຍົກເວັ້ນເຄື່ອງມື carbide ບາງອັນ)


HD500